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文献
J-GLOBAL ID:201502221234190632   整理番号:15A1263493

電熱作動MEMSステージに基づく非共振ファイバ走査装置

A non-resonant fiber scanner based on an electrothermally-actuated MEMS stage
著者 (5件):
ZHANG Xiaoyang
(Dep. of Electrical & Computer Engineering, Univ. of Florida, Gainesville, FL 32611, USA)
DUAN Can
(Dep. of Electrical & Computer Engineering, Univ. of Florida, Gainesville, FL 32611, USA)
LIU Lin
(Dep. of Electrical & Computer Engineering, Univ. of Florida, Gainesville, FL 32611, USA)
LI Xingde
(Dep. of Biomedical Engineering, Johns Hopkins Univ., Baltimore, MD 21205, USA)
XIE Huikai
(Dep. of Electrical & Computer Engineering, Univ. of Florida, Gainesville, FL 32611, USA)

資料名:
Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)

巻: 233  ページ: 239-245  発行年: 2015年09月01日 
JST資料番号: B0345C  ISSN: 0924-4247  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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