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J-GLOBAL ID：201502224912749830 整理番号：15A0744558

砥粒の保持特性を大幅に向上させた多孔質エポキシ樹脂研磨パッドの開発

Development of Porous Epoxy Resin Polishing Pads of Remarkably Improved Retention Properties of Abrasives

著者 (5件)：

野村信幸

(九重電気株式会社)

望月隆弘

(九重電気株式会社)

澤畠智也

(九重電気株式会社)

広川良一

(九重電気株式会社)

若杉博雄

(九重電気株式会社)

資料名：

精密工学会誌(Web) (Journal of the Japan Society for Precision Engineering (Web))

巻： 81 号： 2 ページ： 108-112 (J-STAGE) 発行年： 2015年
JST資料番号： U0462A ISSN： 1882-675X 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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