文献
J-GLOBAL ID:201502228708376132
整理番号:15A0362302
Cu2ZnSnS4薄膜の多段共蒸着中のその場プロセスモニター
In situ process monitoring during multistage coevaporation of Cu2ZnSnS4 thin fiilms
著者 (5件):
MISE Takahiro
(Toyota Central Res. and Dev. Laboratories, Inc., Aichi 480-1192, JPN)
,
TAJIMA Shin
(Toyota Central Res. and Dev. Laboratories, Inc., Aichi 480-1192, JPN)
,
FUKANO Tatsuo
(Toyota Central Res. and Dev. Laboratories, Inc., Aichi 480-1192, JPN)
,
HIGUCHI Kazuo
(Toyota Central Res. and Dev. Laboratories, Inc., Aichi 480-1192, JPN)
,
KATAGIRI Hironori
(Dep. of Electrical and Electronic Systems Engineering, Nagaoka National Coll. of Technol., Niigata 940-8532, JPN)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
33
号:
2
ページ:
021206-021206-11
発行年:
2015年03月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)