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文献
J-GLOBAL ID：201502229232443355
整理番号：15A0532907
ハロゲン化物気相成長によるβ-Ga2O3層のホモエピタキシャル成長
Homoepitaxial growth of β-Ga2O3 layers by halide vapor phase epitaxy
MURAKAMI Hisashi
(Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN)
,
NOMURA Kazushiro
(Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN)
,
GOTO Ken
(Tamura Corp., Saitama, JPN)
,
SASAKI Kohei
(Tamura Corp., Saitama, JPN)
,
SASAKI Kohei
(National Inst. Information and Communications Technol., Tokyo, JPN)
,
KAWARA Katsuaki
(Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN)
,
THIEU Quang Tu
(Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN)
,
TOGASHI Rie
(Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN)
,
KUMAGAI Yoshinao
(Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN)
,
HIGASHIWAKI Masataka
(National Inst. Information and Communications Technol., Tokyo, JPN)
,
KURAMATA Akito
(Tamura Corp., Saitama, JPN)
,
YAMAKOSHI Shigenobu
(Tamura Corp., Saitama, JPN)
,
MONEMAR Bo
(Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN)
,
MONEMAR Bo
(Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE)
,
KOUKITU Akinori
(Tokyo Univ. Agriculture and Technol., Tokyo, JPN)
資料名：
Applied Physics Express
(Applied Physics Express)
巻： 8 号： 1 ページ： 015503.1-015503.4 発行年： 2015年01月
JST資料番号： F0599C ISSN： 1882-0778 CODEN： APEPC4 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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