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文献
J-GLOBAL ID：201502230391133349
整理番号：15A0228613
集束イオンビームミリングを用いたバイオセンサ応用のための窒化シリコン/シリコン上の円錐状微細孔構造の加工
Fabrication of conical micropore structure on silicon nitride/silicon using focused ion beam milling for biosensor application
ARIFFIN Nur Hamizah Zainal
(Malaysia-Japan International Inst. of Technol., Universiti Teknologi Malaysia, Jalan Semarak, 54100 Kuala Lumpur ...)
,
YAHAYA Hafizal
(Malaysia-Japan International Inst. of Technol., Universiti Teknologi Malaysia, Jalan Semarak, 54100 Kuala Lumpur ...)
,
SHINANO Shunji
(Res. Lab. for High Voltage Electron Microscopy, Kyushu Univ., 744 Motooka, Nishi-ku, Fukuoka 819-0395, JPN)
,
TANAKA Satoru
(Dep. of Applied Quantum Physics and Nuclear Engineering, Kyushu Univ., 744 Motooka, Nishi-ku, Fukuoka 819-0395, JPN)
,
HASHIM Abdul Manaf
(Malaysia-Japan International Inst. of Technol., Universiti Teknologi Malaysia, Jalan Semarak, 54100 Kuala Lumpur ...)
資料名：
Microelectronic Engineering
(Microelectronic Engineering)
巻： 133 ページ： 1-5 発行年： 2015年02月05日
JST資料番号： C0406B ISSN： 0167-9317 CODEN： MIENEF 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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