前のページに戻る この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写(冊子体のコピー)をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID:201502230391133349   整理番号:15A0228613

集束イオンビームミリングを用いたバイオセンサ応用のための窒化シリコン/シリコン上の円錐状微細孔構造の加工

Fabrication of conical micropore structure on silicon nitride/silicon using focused ion beam milling for biosensor application
著者 (5件):
ARIFFIN Nur Hamizah Zainal
(Malaysia-Japan International Inst. of Technol., Universiti Teknologi Malaysia, Jalan Semarak, 54100 Kuala Lumpur ...)
YAHAYA Hafizal
(Malaysia-Japan International Inst. of Technol., Universiti Teknologi Malaysia, Jalan Semarak, 54100 Kuala Lumpur ...)
SHINANO Shunji
(Res. Lab. for High Voltage Electron Microscopy, Kyushu Univ., 744 Motooka, Nishi-ku, Fukuoka 819-0395, JPN)
TANAKA Satoru
(Dep. of Applied Quantum Physics and Nuclear Engineering, Kyushu Univ., 744 Motooka, Nishi-ku, Fukuoka 819-0395, JPN)
HASHIM Abdul Manaf
(Malaysia-Japan International Inst. of Technol., Universiti Teknologi Malaysia, Jalan Semarak, 54100 Kuala Lumpur ...)

資料名:
Microelectronic Engineering  (Microelectronic Engineering)

巻: 133  ページ: 1-5  発行年: 2015年02月05日 
JST資料番号: C0406B  ISSN: 0167-9317  CODEN: MIENEF  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写(コピー)して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写(コピー)は郵送またはFAXでお送りします

※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。