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文献
J-GLOBAL ID：201502232290443030
整理番号：15A0502046
窒素ガス流量を変え反応性スパッタリングで蒸着したδ-(Ti,Mo)N膜の摩耗と酸化挙動
Wear and oxidation behavior of reactive sputtered δ-(Ti,Mo)N films deposited at different nitrogen gas flow rates
KOMIYAMA S.
(Dep. of Materials Sci., Graduate School of Engineering, Tohoku Univ., 6-6-11, Aramaki, Aoba-ku, Sendai 980-8579, JPN)
,
SUTOU Y.
(Dep. of Materials Sci., Graduate School of Engineering, Tohoku Univ., 6-6-11, Aramaki, Aoba-ku, Sendai 980-8579, JPN)
,
OIKAWA K.
(Dep. of Materials Sci., Graduate School of Engineering, Tohoku Univ., 6-6-11, Aramaki, Aoba-ku, Sendai 980-8579, JPN)
,
KOIKE J.
(Dep. of Materials Sci., Graduate School of Engineering, Tohoku Univ., 6-6-11, Aramaki, Aoba-ku, Sendai 980-8579, JPN)
,
WANG M.
(Coating Res. and Dev. Dep., OSG Corp., 1-15 Honnogahara, Toyokawa 442-8544, JPN)
,
SAKURAI M.
(Coating Res. and Dev. Dep., OSG Corp., 1-15 Honnogahara, Toyokawa 442-8544, JPN)
資料名：
Tribology International
(Tribology International)
巻： 87 ページ： 32-39 発行年： 2015年07月
JST資料番号： E0409B ISSN： 0301-679X 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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