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文献
J-GLOBAL ID：201502233071026390
整理番号：15A0558551
無酸素環境における単結晶シリコンに関する疲労実験
Fatigue Experiments on Single Crystal Silicon in an Oxygen-Free Environment
HONG Vu A.
(Stanford Univ., CA, USA)
,
YONEOKA Shingo
(mCube, Inc., CA, USA)
,
MESSANA Matthew W.
(SkyBox Imaging, CA, USA)
,
GRAHAM Andrew B.
(Stanford Univ., CA, USA)
,
SALVIA James C.
(InvenSense Corp., CA, USA)
,
BRANCHFLOWER Todd T.
(U.S. Air Force Acad., CO, USA)
,
NG Eldwin J.
(Stanford Univ., CA, USA)
,
KENNY Thomas W.
(Stanford Univ., CA, USA)
資料名：
Journal of Microelectromechanical Systems
(Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 24 号： 2 ページ： 351-359 発行年： 2015年04月
JST資料番号： W0357A ISSN： 1057-7157 CODEN： JMIYET 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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