文献
J-GLOBAL ID:201502234982240522
整理番号:15A0507178
Siナノワイヤアレイの選択成長への陽極アルミニウム酸化物の製造プロセスの影響
Effects of Fabrication Process of Anodic Aluminum Oxide on Selective Growth of Si Nanowire Arrays
著者 (9件):
NGUYEN Van Hoang
(Japan Sci. and Technol. Agency JST)
,
NGUYEN Van Hoang
(Nagoya Univ.)
,
TUTASHKONKO Sergii
(Japan Sci. and Technol. Agency JST)
,
TUTASHKONKO Sergii
(Nagoya Univ.)
,
HOSHI Yusuke
(Nagoya Univ.)
,
USAMI Noritaka
(Japan Sci. and Technol. Agency JST)
,
USAMI Noritaka
(Nagoya Univ.)
,
KONAGAI Makoto
(Japan Sci. and Technol. Agency JST)
,
KONAGAI Makoto
(Tokyo Inst. of Technol.)
資料名:
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻:
62nd
ページ:
ROMBUNNO.12P-A20-3
発行年:
2015年02月26日
JST資料番号:
Y0054B
ISSN:
2436-7613
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)