文献
J-GLOBAL ID:201502235982345045
整理番号:15A0328807
多方向UVリソグラフィーと予測構造モデリングによる3Dナノ構造の製作
Fabrication of 3D nanostructures by multidirectional UV lithography and predictive structural modeling
著者 (4件):
KIM Jungkwun
(Univ. Pennsylvania, PA, USA)
,
KIM Cheolbok
(Univ. Florida, FL, USA)
,
ALLEN Mark G
(Univ. Pennsylvania, PA, USA)
,
YOON Yong-Kyu
(Univ. Florida, FL, USA)
資料名:
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻:
25
号:
2
ページ:
025017,1-10
発行年:
2015年02月
JST資料番号:
W1424A
ISSN:
0960-1317
CODEN:
JMMIEZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)