文献
J-GLOBAL ID:201502236687643120
整理番号:15A0240249
Zn薄膜のウェット酸化により合成したZnOナノワイヤを組み込んだMEMSアセトンセンサ
A MEMS based acetone sensor incorporating ZnO nanowires synthesized by wet oxidation of Zn film
著者 (2件):
BEHERA Bhagaban
(Indian Inst. of Technol. Delhi, New Delhi, IND)
,
CHANDRA Sudhir
(Indian Inst. of Technol. Delhi, New Delhi, IND)
資料名:
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻:
25
号:
1
ページ:
015007,1-9
発行年:
2015年01月
JST資料番号:
W1424A
ISSN:
0960-1317
CODEN:
JMMIEZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)