文献
J-GLOBAL ID:201502237882803472
整理番号:15A0621583
ロールプレス法を用いたチタニウム箔のマイクロ孔穿孔
Micropiercing of titanium foil by a roll press method
著者 (4件):
FUKUYAMA Ryo
(Dep. of Applied Electronics, Tokyo Univ. of Sci., 6-3-1 Nijuku, Katsushika, Tokyo 125-8585, JPN)
,
TANIGUCHI Jun
(Dep. of Applied Electronics, Tokyo Univ. of Sci., 6-3-1 Nijuku, Katsushika, Tokyo 125-8585, JPN)
,
YOSHIKAWA Kenichi
(Yagishitagiken Co., Ltd., 2-1-8, Chuou, Wako-city, Saitama 351-0013, JPN)
,
YAGISHITA Hiroyuki
(Yagishitagiken Co., Ltd., 2-1-8, Chuou, Wako-city, Saitama 351-0013, JPN)
資料名:
Microelectronic Engineering
(Microelectronic Engineering)
巻:
139
ページ:
53-59
発行年:
2015年05月01日
JST資料番号:
C0406B
ISSN:
0167-9317
CODEN:
MIENEF
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)