文献
J-GLOBAL ID:201502238318889444
整理番号:15A0693554
二重Pb[Zr,Ti]O3層を用い厚さを増した薄膜圧電バイモルフアクチュエータ
Thin-film piezoelectric bimorph actuators with increased thickness using double Pb[Zr,Ti]O3 layers
著者 (4件):
INOUE Jun-Ichi
(Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
,
KANDA Kensuke
(Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
,
FUJITA Takayuki
(Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
,
MAENAKA Kazusuke
(Univ. Hyogo, Hyogo, JPN)
資料名:
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻:
25
号:
5
ページ:
055001,1-12
発行年:
2015年05月
JST資料番号:
W1424A
ISSN:
0960-1317
CODEN:
JMMIEZ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)