文献
J-GLOBAL ID:201502238758052830
整理番号:15A0487403
誘電率の検出による圧電位置決めステージの自己検出制御
Self-sensing control of piezoelectric positioning stage by detecting permittivity
著者 (2件):
SAIGUSA Katsuhiro
(Graduate School of Frontier Sci., The Univ. of Tokyo, Kashiwa, Chiba 277-8563, JPN)
,
MORITA Takeshi
(Graduate School of Frontier Sci., The Univ. of Tokyo, Kashiwa, Chiba 277-8563, JPN)
資料名:
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻:
226
ページ:
76-80
発行年:
2015年05月01日
JST資料番号:
B0345C
ISSN:
0924-4247
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)