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文献
J-GLOBAL ID：201502239335304030
整理番号：15A0533036
オクタデシルトリクロロシラン自己集合単一層とプラズマの反応の赤外分光研究
Infrared spectroscopic study of the reactions between an octadecyltrichlorosilane self-assembled monolayer and plasma
SHINOHARA Masanori
(Nagasaki Univ., Nagasaki, JPN)
,
MARUNO Naoki
(Nagasaki Univ., Nagasaki, JPN)
,
YOSHIDA Yuta
(Nagasaki Univ., Nagasaki, JPN)
,
TANIGUCHI Yujiro
(Nagasaki Univ., Nagasaki, JPN)
,
ITO Kazuki
(Nagasaki Univ., Nagasaki, JPN)
,
NAKANO Yamato
(Nagasaki Univ., Nagasaki, JPN)
,
MATSUDA Yoshinobu
(Nagasaki Univ., Nagasaki, JPN)
,
FUJIYAMA Hiroshi
(Nagasaki Univ., Nagasaki, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 54 号： 1S ページ： 01AB04.1-01AB04.6 発行年： 2015年01月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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