文献
J-GLOBAL ID:201502240211697628
整理番号:15A0223065
連続運動のためのハイブリッドボルトクランプLangevin型超音波リニアモータを用いた超精密XYステージ
Ultraprecision XY stage using a hybrid bolt-clamped Langevin-type ultrasonic linear motor for continuous motion
著者 (2件):
LEE Dong-jin
(School of Mechatronics, Gwangju Inst. of Sci. and Technol., 123 Cheomdangwagi-ro, Buk-gu, Gwangju 500-712, KOR)
,
LEE Sun-kyu
(School of Mechatronics, Gwangju Inst. of Sci. and Technol., 123 Cheomdangwagi-ro, Buk-gu, Gwangju 500-712, KOR)
資料名:
Review of Scientific Instruments
(Review of Scientific Instruments)
巻:
86
号:
1
ページ:
015111-015111-9
発行年:
2015年01月
JST資料番号:
D0517A
ISSN:
0034-6748
CODEN:
RSINAK
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)