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文献
J-GLOBAL ID：201502241513972861
整理番号：15A0555627
RFマグネトロンスパッタリングで蒸着されたAlドープ酸化亜鉛とSnドープ酸化インジウムの微細構造展開 比較
Microstructure evolution of Al-doped zinc oxide and Sn-doped indium oxide deposited by radio-frequency magnetron sputtering: A comparison
NIE Man
(Helmholtz-Zentrum Berlin fuer Materialien und Energie GmbH, Inst. for Solar Fuels, Hahn-Meitner-Platz 1, D-14109 ...)
,
BIKOWSKI Andre
(Helmholtz-Zentrum Berlin fuer Materialien und Energie GmbH, Inst. for Solar Fuels, Hahn-Meitner-Platz 1, D-14109 ...)
,
ELLMER Klaus
(Helmholtz-Zentrum Berlin fuer Materialien und Energie GmbH, Inst. for Solar Fuels, Hahn-Meitner-Platz 1, D-14109 ...)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 117 号： 15 ページ： 155301-155301-9 発行年： 2015年04月21日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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