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文献
J-GLOBAL ID：201502242046496500
整理番号：15A0305349
サブ50nm分解能の収差補正した1.2MV冷電界放出透過型電子顕微鏡
Aberration corrected 1.2-MV cold field-emission transmission electron microscope with a sub-50-pm resolution
AKASHI Tetsuya
(Central Res. Lab., Hitachi, Ltd., Hatoyama 350-0395, JPN)
,
TAKAHASHI Yoshio
(Central Res. Lab., Hitachi, Ltd., Hatoyama 350-0395, JPN)
,
TANIGAKI Toshiaki
(Central Res. Lab., Hitachi, Ltd., Hatoyama 350-0395, JPN)
,
SHIMAKURA Tomokazu
(Central Res. Lab., Hitachi, Ltd., Hatoyama 350-0395, JPN)
,
KAWASAKI Takeshi
(Central Res. Lab., Hitachi, Ltd., Hatoyama 350-0395, JPN)
,
FURUTSU Tadao
(Central Res. Lab., Hitachi, Ltd., Hatoyama 350-0395, JPN)
,
SHINADA Hiroyuki
(Central Res. Lab., Hitachi, Ltd., Hatoyama 350-0395, JPN)
,
MUELLER Heiko
(Corrected Electron Optical Systems GmbH, Englerstr. 28, D-69126 Heidelberg, DEU)
,
HAIDER Maximilian
(Corrected Electron Optical Systems GmbH, Englerstr. 28, D-69126 Heidelberg, DEU)
,
OSAKABE Nobuyuki
(Central Res. Lab., Hitachi, Ltd., Hatoyama 350-0395, JPN)
,
TONOMURA Akira
(Central Res. Lab., Hitachi, Ltd., Hatoyama 350-0395, JPN)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 106 号： 7 ページ： 074101-074101-4 発行年： 2015年02月16日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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