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文献
J-GLOBAL ID：201502242931374349
整理番号：15A0642608
静電気と光力によって制御されたナノ加工チューナブル発振器
A NANOMACHINED TUNABLE OSCILLATOR CONTROLLED BY ELECTROSTATIC AND OPTICAL FORCE
HUANG J. G.
(Xian Jiaotong Univ., Xian, CHN)
,
HUANG J. G.
(Agency for Sci., Technol. and Res., Singapore)
,
HUANG J. G.
(Nanyang Technological Univ., Singapore)
,
DONG B.
(Agency for Sci., Technol. and Res., Singapore)
,
DONG B.
(Nanyang Technological Univ., Singapore)
,
CAI H.
(Agency for Sci., Technol. and Res., Singapore)
,
GU Y. D.
(Agency for Sci., Technol. and Res., Singapore)
,
WU J. H.
(Xian Jiaotong Univ., Xian, CHN)
,
CHEN T. N.
(Xian Jiaotong Univ., Xian, CHN)
,
YANG Z. C.
(Peking Univ., Beijing, CHN)
,
JIN Y. F.
(Peking Univ., Beijing, CHN)
,
HAO Y. L.
(Peking Univ., Beijing, CHN)
,
KWONG D. L.
(Agency for Sci., Technol. and Res., Singapore)
,
LIU A. Q.
(Nanyang Technological Univ., Singapore)
資料名：
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems
(Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 28th Vol.1 ページ： 45-48 発行年： 2015年
JST資料番号： W0377A ISSN： 1084-6999 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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