前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：201502243771947734
整理番号：15A0601228
グリーンデバイス用結晶基板の加工プロセス技術の研究開発(第8報)-特殊形状砥粒によるSiC基板の加工に関する考察-
西澤秀明
(九大 産学連携セ)
,
瀬下清
(九大 産学連携セ)
,
山崎努
(九大 産学連携セ)
,
佐々木英二
(九大 産学連携セ)
,
塚本敬一
(九大 産学連携セ)
,
村上幸
(九大 産学連携セ)
,
光原乃里子
(九大 産学連携セ)
,
柏田真吾
(日揮触媒化成)
,
中山和洋
(日揮触媒化成)
,
小柳嗣雄
(日揮触媒化成)
,
俵迫祐二
(日揮触媒化成)
,
土肥俊郎
(九大 産学連携セ)
資料名：
精密工学会大会学術講演会講演論文集
(精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2015 号： 春季(CD-ROM) ページ： ROMBUNNO.I20 発行年： 2015年03月01日
JST資料番号： Y0914A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。