文献
J-GLOBAL ID:201502244769199565
整理番号:15A0336867
反応性スパッタリングの間のターゲット浸食のモデリング
Modeling target erosion during reactive sputtering
著者 (2件):
STRIJCKMANS K.
(Res. Group DRAFT, Dep. of Solid State Sciences, Ghent Univ., Krijgslaan 281/S1, B-9000 Ghent, BEL)
,
DEPLA D.
(Res. Group DRAFT, Dep. of Solid State Sciences, Ghent Univ., Krijgslaan 281/S1, B-9000 Ghent, BEL)
資料名:
Applied Surface Science
(Applied Surface Science)
巻:
331
ページ:
185-192
発行年:
2015年03月15日
JST資料番号:
B0707B
ISSN:
0169-4332
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)