文献
J-GLOBAL ID:201502245708733930
整理番号:15A0654143
ナイフの揺れ運動によるファセット及びリップル形成無しの単結晶ダイヤモンドナイフのイオンビーム研ぎ
Ion beam sharpening of a single-crystal diamond knife without facet and ripple formations by swinging motion of knife
著者 (2件):
FUKUYAMA Ryo
(Dep. of Applied Electronics, Tokyo Univ. of Sci., 6-3-1 Nijuku, Katsushika, Tokyo 125-8585, JPN)
,
TANIGUCHI Jun
(Dep. of Applied Electronics, Tokyo Univ. of Sci., 6-3-1 Nijuku, Katsushika, Tokyo 125-8585, JPN)
資料名:
Microelectronic Engineering
(Microelectronic Engineering)
巻:
141
ページ:
245-249
発行年:
2015年06月15日
JST資料番号:
C0406B
ISSN:
0167-9317
CODEN:
MIENEF
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)