文献
J-GLOBAL ID:201502245762530246
整理番号:15A0648086
In2O3:Sn,SnO2,及びガラス上のサーモクロミックVO2膜のスパッタ蒸着:構造・組成対酸素分圧
Sputter deposition of thermochromic VO2 films on In2O3:Sn, SnO2, and glass: Structure and composition versus oxygen partial pressure
著者 (5件):
MONTERO Jose
(Dep. of Engineering Sciences, The Ångstroem Lab., Uppsala Univ., P.O. Box 534, SE-75121 Uppsala, SWE)
,
JI Yu-xia
(Dep. of Engineering Sciences, The Ångstroem Lab., Uppsala Univ., P.O. Box 534, SE-75121 Uppsala, SWE)
,
LI Shu-yi
(Dep. of Engineering Sciences, The Ångstroem Lab., Uppsala Univ., P.O. Box 534, SE-75121 Uppsala, SWE)
,
NIKLASSON Gunnar A.
(Dep. of Engineering Sciences, The Ångstroem Lab., Uppsala Univ., P.O. Box 534, SE-75121 Uppsala, SWE)
,
GRANQVIST Claes G.
(Dep. of Engineering Sciences, The Ångstroem Lab., Uppsala Univ., P.O. Box 534, SE-75121 Uppsala, SWE)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻:
33
号:
3
ページ:
031805-031805-7
発行年:
2015年05月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
2166-2746
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)