前のページに戻る
この文献は全文を取り寄せることができます
JDreamⅢ複写サービスから文献全文の複写（冊子体のコピー）をお申込みできます。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です。
既に、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDをお持ちの方
JDreamⅢ複写サービスのご利用が初めての方
取り寄せる文献のタイトルと詳細
文献
J-GLOBAL ID：201502246594037721
整理番号：15A0448181
EUVマスクのアクティニック検査: AIMS EUVシステムインテグレーションでの最初の結果
Actinic review of EUV masks: First results from the AIMS EUV system integration
WEISS Markus R.
(Carl Zeiss SMT GmbH, Oberkochen, DEU)
,
HELLWEG Dirk
(Carl Zeiss SMT GmbH, Oberkochen, DEU)
,
PETERS Jan Hendrik
(Carl Zeiss SMS GmbH, Jena, DEU)
,
PERLITZ Sascha
(Carl Zeiss SMS GmbH, Jena, DEU)
,
GARETTO Anthony
(Carl Zeiss SMS GmbH, Jena, DEU)
,
GOLDSTEIN Michael
(SEMATECH, NY, USA)
資料名：
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻： 9048 号： Pt.1 ページ： 90480X.1-90480X.9 発行年： 2014年
JST資料番号： D0943A ISSN： 0277-786X CODEN： PSISDG 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
JDreamⅢ複写サービスとは
JDreamⅢ複写サービスは、学術文献の全文を複写（コピー）して取り寄せできる有料サービスです。インターネットに公開されていない文献や、図書館に収録されていない文献の全文を、オンラインで取り寄せることができます。J-GLOBALの整理番号にも対応しているので、申し込みも簡単にできます。全文の複写（コピー）は郵送またはFAXでお送りします
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。
※ご利用には、G-Searchデータベースサービスまたは、JDreamⅢのIDが必要です
※初めてご利用される方は、JDreamⅢ複写サービスのご案内をご覧ください。