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文献
J-GLOBAL ID：201502246988447615
整理番号：15A0457075
室温でのマグネトロンスパッタリングによる透明導電性InZnO薄膜の開発と確性
Development and characterization of transparent and conductive InZnO films by magnetron sputtering at room temperature
ALEXANDER J. Nicholas
(State Univ. of New York Polytechnic Inst., Colleges of Nanoscale Sci. and Engineering, 257 Fuller Rd., Albany, NY ...)
,
SUN Neville
(Angstrom Sun Technologies Inc., 31 Nagog Park, Acton, MA 01720, USA)
,
SUN Richard
(Angstrom Sun Technologies Inc., 31 Nagog Park, Acton, MA 01720, USA)
,
EFSTATHIADIS Harry
(State Univ. of New York Polytechnic Inst., Colleges of Nanoscale Sci. and Engineering, 257 Fuller Rd., Albany, NY ...)
,
HALDAR Pradeep
(State Univ. of New York Polytechnic Inst., Colleges of Nanoscale Sci. and Engineering, 257 Fuller Rd., Albany, NY ...)
資料名：
Journal of Alloys and Compounds
(Journal of Alloys and Compounds)
巻： 633 ページ： 157-164 発行年： 2015年06月05日
JST資料番号： D0083A ISSN： 0925-8388 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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