文献
J-GLOBAL ID:201502246988447615
整理番号:15A0457075
室温でのマグネトロンスパッタリングによる透明導電性InZnO薄膜の開発と確性
Development and characterization of transparent and conductive InZnO films by magnetron sputtering at room temperature
著者 (5件):
ALEXANDER J. Nicholas
(State Univ. of New York Polytechnic Inst., Colleges of Nanoscale Sci. and Engineering, 257 Fuller Rd., Albany, NY ...)
,
SUN Neville
(Angstrom Sun Technologies Inc., 31 Nagog Park, Acton, MA 01720, USA)
,
SUN Richard
(Angstrom Sun Technologies Inc., 31 Nagog Park, Acton, MA 01720, USA)
,
EFSTATHIADIS Harry
(State Univ. of New York Polytechnic Inst., Colleges of Nanoscale Sci. and Engineering, 257 Fuller Rd., Albany, NY ...)
,
HALDAR Pradeep
(State Univ. of New York Polytechnic Inst., Colleges of Nanoscale Sci. and Engineering, 257 Fuller Rd., Albany, NY ...)
資料名:
Journal of Alloys and Compounds
(Journal of Alloys and Compounds)
巻:
633
ページ:
157-164
発行年:
2015年06月05日
JST資料番号:
D0083A
ISSN:
0925-8388
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)