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文献
J-GLOBAL ID：201502248005015031
整理番号：15A0589213
電気的帯域溶融後におけるシリコンウエハの少数キャリア寿命の劣化
Minority lifetime degradation of silicon wafers after electric zone melting
WU M.C.
(Dep. of Chemical Engineering, National Taiwan Univ., Taipei 10617, Taiwan, TWN)
,
YANG C.F.
(Dep. of Chemical Engineering, National Taiwan Univ., Taipei 10617, Taiwan, TWN)
,
LAN C.W.
(Dep. of Chemical Engineering, National Taiwan Univ., Taipei 10617, Taiwan, TWN)
資料名：
Journal of Crystal Growth
(Journal of Crystal Growth)
巻： 420 ページ： 74-79 発行年： 2015年06月15日
JST資料番号： B0942A ISSN： 0022-0248 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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