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文献
J-GLOBAL ID：201502250587132104
整理番号：15A0689349
革新的概念に基づく超高効率加工技術の構築(ダイラタンシー・パッド工具と液中加工システムによるSiC基板の効果的加工プロセスの確立)
Building of super high-efficiency processing technology based on innovative concept (Establishment of effective polishing process of SiC substrate using Dilatancy pad tool with bowl feed method)
土肥俊郎
(九大 産学連携セ)
,
瀬下清
(九大 産学連携セ)
,
山崎努
(九大 産学連携セ)
,
大坪正徳
(九大 産学連携セ)
,
西澤秀明
(九大 産学連携セ)
,
村上幸
(九大 産学連携セ)
,
市川大造
(不二越機械工業)
,
中村由夫
(不二越機械工業)
,
宮下忠一
(不二越機械工業)
,
川村佳秀
(フジボウ愛媛)
,
高木正孝
(フジボウ愛媛)
,
柏田太志
(フジボウ愛媛)
,
曾田英雄
(九大 産学連携セ)
,
曾田英雄
(並木精密宝石)
資料名：
日本機械学会論文集(Web)
(Bulletin of the JSME (Web))
巻： 81 号： 824 ページ： 14-00618(J-STAGE) 発行年： 2015年
JST資料番号： U0182B ISSN： 2187-9761 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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