文献
J-GLOBAL ID:201502253960361339
整理番号:15A0305389
CoTiNメタルゲートの構造特性及び電気特性評価
Structural and electrical characterization of CoTiN metal gates
著者 (7件):
WONGPIYA Ranida
(Materials Sci. and Engineering, Stanford Univ., Stanford, California 94305, USA)
,
OUYANG Jiaomin
(Materials Sci. and Engineering, Stanford Univ., Stanford, California 94305, USA)
,
CHUNG Chia-jung
(Materials Sci. and Engineering, Stanford Univ., Stanford, California 94305, USA)
,
DUONG Duc T.
(Materials Sci. and Engineering, Stanford Univ., Stanford, California 94305, USA)
,
DEAL Michael
(Electrical Engineering, Stanford Univ., Stanford, California 94305, USA)
,
NISHI Yoshio
(Electrical Engineering, Stanford Univ., Stanford, California 94305, USA)
,
CLEMENS Bruce
(Materials Sci. and Engineering, Stanford Univ., Stanford, California 94305, USA)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
117
号:
7
ページ:
075304-075304-8
発行年:
2015年02月21日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)