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文献
J-GLOBAL ID：201502253960361339
整理番号：15A0305389
CoTiNメタルゲートの構造特性及び電気特性評価
Structural and electrical characterization of CoTiN metal gates
WONGPIYA Ranida
(Materials Sci. and Engineering, Stanford Univ., Stanford, California 94305, USA)
,
OUYANG Jiaomin
(Materials Sci. and Engineering, Stanford Univ., Stanford, California 94305, USA)
,
CHUNG Chia-jung
(Materials Sci. and Engineering, Stanford Univ., Stanford, California 94305, USA)
,
DUONG Duc T.
(Materials Sci. and Engineering, Stanford Univ., Stanford, California 94305, USA)
,
DEAL Michael
(Electrical Engineering, Stanford Univ., Stanford, California 94305, USA)
,
NISHI Yoshio
(Electrical Engineering, Stanford Univ., Stanford, California 94305, USA)
,
CLEMENS Bruce
(Materials Sci. and Engineering, Stanford Univ., Stanford, California 94305, USA)
資料名：
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻： 117 号： 7 ページ： 075304-075304-8 発行年： 2015年02月21日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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