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文献
J-GLOBAL ID：201502254553336920
整理番号：15A0440639
同軸アークプラズマ堆積によって作製された超ナノ結晶ダイヤモンド/水素化アモルファスカーボン複合材料薄膜の硬度と弾性率
Hardness and modulus of ultrananocrystalline diamond/hydrogenated amorphous carbon composite films prepared by coaxial arc plasma deposition
HANADA Kenji
(Kyushu Univ., Res. Center for Synchrotron Light Applications, 816-8580, Kasuga, Fukuoka, JPN)
,
YOSHIDA Tomohiro
(Kyushu Univ., Dep. of Applied Sci. for Electronics and Materials, 816-8580, Kasuga, Fukuoka, JPN)
,
YOSHIDA Tomohiro
(Kurume National Coll. of Technol., Dep. of Electrical and Electronics Engineering, 830-8555, Kurume, Fukuoka, JPN)
,
NAKAGAWA You
(Kyushu Univ., Dep. of Applied Sci. for Electronics and Materials, 816-8580, Kasuga, Fukuoka, JPN)
,
GIMA Hiroki
(Kyushu Univ., Dep. of Applied Sci. for Electronics and Materials, 816-8580, Kasuga, Fukuoka, JPN)
,
TOMINAGA Aki
(Kyushu Univ., Res. Center for Synchrotron Light Applications, 816-8580, Kasuga, Fukuoka, JPN)
,
TOMINAGA Aki
(Kyushu Univ., Dep. of Applied Sci. for Electronics and Materials, 816-8580, Kasuga, Fukuoka, JPN)
,
HIRAKAWA Masaaki
(ULVAC, 289-1226, Sammu, Chiba, JPN)
,
AGAWA Yoshiaki
(ULVAC-RIKO, 224-0053, Yokohama, Kanagawa, JPN)
,
SUGIYAMA Takeharu
(Kyushu Univ., Res. Center for Synchrotron Light Applications, 816-8580, Kasuga, Fukuoka, JPN)
,
YOSHITAKE Tsuyoshi
(Kyushu Univ., Res. Center for Synchrotron Light Applications, 816-8580, Kasuga, Fukuoka, JPN)
,
YOSHITAKE Tsuyoshi
(Kyushu Univ., Dep. of Applied Sci. for Electronics and Materials, 816-8580, Kasuga, Fukuoka, JPN)
資料名：
Applied Physics. A. Materials Science & Processing
(Applied Physics. A. Materials Science & Processing)
巻： 119 号： 1 ページ： 205-210 発行年： 2015年04月
JST資料番号： D0256C ISSN： 0947-8396 CODEN： APHYCC 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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