文献
J-GLOBAL ID:201502255686790824
整理番号:15A0642634
容量型変換がいつ熱力学的限界に適合するか:非常に高周波でのフェムトニュートン力センサに向けて
WHEN CAPACITIVE TRANSDUCTION MEETS THE THERMOMECHANICAL LIMIT: TOWARDS FEMTO-NEWTON FORCE SENSORS AT VERY HIGH FREQUENCY
著者 (14件):
HOUMADI S.
(CBMN, CNRS, Pessac, FRA)
,
HOUMADI S.
(CRPP, CNRS, Pessac, FRA)
,
LEGRAND B.
(LAAS, CNRS, Toulouse, FRA)
,
LEGRAND B.
(Univ de Toulouse, Toulouse, FRA)
,
SALVETAT J. P.
(CRPP, CNRS, Pessac, FRA)
,
WALTER B.
(IEMN, CNRS, Villeneuve d’Ascq, FRA)
,
MAIRIAUX E.
(IEMN, CNRS, Villeneuve d’Ascq, FRA)
,
AIME J. P.
(CBMN, CNRS, Pessac, FRA)
,
DUCATTEAU D.
(IEMN, CNRS, Villeneuve d’Ascq, FRA)
,
MERZEAU P.
(CRPP, CNRS, Pessac, FRA)
,
BUISSON L.
(CRPP, CNRS, Pessac, FRA)
,
ELEZGARAY J.
(CBMN, CNRS, Pessac, FRA)
,
THERON D.
(IEMN, CNRS, Villeneuve d’Ascq, FRA)
,
FAUCHER M.
(IEMN, CNRS, Villeneuve d’Ascq, FRA)
資料名:
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems
(Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻:
28th Vol.1
ページ:
150-153
発行年:
2015年
JST資料番号:
W0377A
ISSN:
1084-6999
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)