文献
J-GLOBAL ID:201502256578085100
整理番号:15A0556680
大型単結晶ダイヤモンドの成長を目的とする数値解析マイクロ波放電的研究
Numerical microwave plasma discharge study for the growth of large single-crystal diamond
著者 (4件):
YAMADA Hideaki
(Res. Inst. for Ubiquitous Energy Devices, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., 1-8-31 ...)
,
CHAYAHARA Akiyoshi
(Res. Inst. for Ubiquitous Energy Devices, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., 1-8-31 ...)
,
MOKUNO Yoshiaki
(Res. Inst. for Ubiquitous Energy Devices, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., 1-8-31 ...)
,
SHIKATA Shinichi
(Res. Inst. for Ubiquitous Energy Devices, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., 1-8-31 ...)
資料名:
Diamond and Related Materials
(Diamond and Related Materials)
巻:
54
ページ:
9-14
発行年:
2015年04月
JST資料番号:
W0498A
ISSN:
0925-9635
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)