文献
J-GLOBAL ID:201502256662897578
整理番号:15A0642707
ガラスリフロープロセスを用いたウエハレベルガラス埋め込み高アスペクト比受動部品の調整
PREPARATION OF WAFER LEVEL GLASS-EMBEDDED HIGH-ASPECT-RATIO PASSIVES USING A GLASS REFLOW PROCESS
著者 (3件):
MA Mengying
(Southeast Univ., Nanjing, CHN)
,
SHANG Jintang
(Southeast Univ., Nanjing, CHN)
,
LUO Bin
(Southeast Univ., Nanjing, CHN)
資料名:
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems
(Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻:
28th Vol.1
ページ:
427-430
発行年:
2015年
JST資料番号:
W0377A
ISSN:
1084-6999
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)