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文献
J-GLOBAL ID：201502259298660183
整理番号：15A0723093
センサ用としての可とう性基板上のAlNテキスチャリングと圧電性
AlN texturing and piezoelectricity on flexible substrates for sensor applications
SMECCA Emanuele
(CNR-IMM, Zona Industriale Strada VIII, n°5, 95121 Catania, ITA)
,
MAITA Francesco
(CNR-IMM, Via del Fosso del Cavaliere 100, 00133 Roma, ITA)
,
PELLEGRINO Giovanna
(CNR-IMM, Zona Industriale Strada VIII, n°5, 95121 Catania, ITA)
,
VINCIGUERRA Vincenzo
(STMicroelectronics, Stradale Primosole 50, 95121 Catania, ITA)
,
LA MAGNA Luigi
(STMicroelectronics, Stradale Primosole 50, 95121 Catania, ITA)
,
MIRABELLA Salvo
(CNR-IMM, Matis Via Santa Sofia n°64, 95123 Catania, ITA)
,
MAIOLO Luca
(CNR-IMM, Via del Fosso del Cavaliere 100, 00133 Roma, ITA)
,
FORTUNATO Guglielmo
(CNR-IMM, Via del Fosso del Cavaliere 100, 00133 Roma, ITA)
,
CONDORELLI Guglielmo G.
(Dipartimento di Scienze Chimiche, Universita degli Studi di Catania, V.le A.Doria 6, 95125 Catania, ITA)
,
ALBERTI Alessandra
(CNR-IMM, Zona Industriale Strada VIII, n°5, 95121 Catania, ITA)
資料名：
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻： 106 号： 23 ページ： 232903-232903-5 発行年： 2015年06月08日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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