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J-GLOBAL ID：201502260453767281 整理番号：15A0508874

ALDとECRプラズマ酸化による酸化膜固定電荷密度の制御

著者 (6件)：

永冨雄太

(九大)

長岡裕一

(九大)

田中慎太郎

(九大)

山本圭介

(九大産学連携セ)

WANG Dong

(九大)

中島寛

(九大産学連携セ)

資料名：

応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))

巻： 62nd ページ： ROMBUNNO.14A-A24-6 発行年： 2015年02月26日
JST資料番号： Y0054B ISSN： 2436-7613 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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