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文献
J-GLOBAL ID：201502260577925624
整理番号：15A0446998
銅/カーボンナノチューブ複合体を充填したスルーシリコンビア相互接続の作製及び電気的性能
Fabrication and electrical performance of through silicon via interconnects filled with a copper/carbon nanotube composite
FENG Ying
(Dep. of Electrical and Computer Engineering, The Univ. of Alabama, Tuscaloosa, Alabama 35487)
,
BURKETT Susan L.
(Dep. of Electrical and Computer Engineering, The Univ. of Alabama, Tuscaloosa, Alabama 35487)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 33 号： 2 ページ： 022004-022004-7 発行年： 2015年03月
JST資料番号： E0974A ISSN： 2166-2746 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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