文献
J-GLOBAL ID:201502260577925624
整理番号:15A0446998
銅/カーボンナノチューブ複合体を充填したスルーシリコンビア相互接続の作製及び電気的性能
Fabrication and electrical performance of through silicon via interconnects filled with a copper/carbon nanotube composite
著者 (2件):
FENG Ying
(Dep. of Electrical and Computer Engineering, The Univ. of Alabama, Tuscaloosa, Alabama 35487)
,
BURKETT Susan L.
(Dep. of Electrical and Computer Engineering, The Univ. of Alabama, Tuscaloosa, Alabama 35487)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻:
33
号:
2
ページ:
022004-022004-7
発行年:
2015年03月
JST資料番号:
E0974A
ISSN:
2166-2746
CODEN:
JVTBD9
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)