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文献
J-GLOBAL ID：201502261123893457
整理番号：15A0145850
薄膜共形性分析用の微視的Siに基づく横型高アスペクト比構造
Microscopic silicon-based lateral high-aspect-ratio structures for thin film conformality analysis
GAO Feng
(VTT Technical Res. Centre of Finland, Tietotie 3, 02044 Espoo, FIN)
,
ARPIAINEN Sanna
(VTT Technical Res. Centre of Finland, Tietotie 3, 02044 Espoo, FIN)
,
PUURUNEN Riikka L.
(VTT Technical Res. Centre of Finland, Tietotie 3, 02044 Espoo, FIN)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 33 号： 1 ページ： 010601-010601-5 発行年： 2015年01月
JST資料番号： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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