文献
J-GLOBAL ID:201502261123893457
整理番号:15A0145850
薄膜共形性分析用の微視的Siに基づく横型高アスペクト比構造
Microscopic silicon-based lateral high-aspect-ratio structures for thin film conformality analysis
著者 (3件):
GAO Feng
(VTT Technical Res. Centre of Finland, Tietotie 3, 02044 Espoo, FIN)
,
ARPIAINEN Sanna
(VTT Technical Res. Centre of Finland, Tietotie 3, 02044 Espoo, FIN)
,
PUURUNEN Riikka L.
(VTT Technical Res. Centre of Finland, Tietotie 3, 02044 Espoo, FIN)
資料名:
Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films
(Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻:
33
号:
1
ページ:
010601-010601-5
発行年:
2015年01月
JST資料番号:
C0789B
ISSN:
0734-2101
CODEN:
JVTAD6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)