文献
J-GLOBAL ID:201502261901885963
整理番号:15A0170240
金属酸化物バッファ層を用いたMoS2上のAl2O3の高温集積化の改善
Improved high temperature integration of Al2O3 on MoS2 by using a metal oxide buffer layer
著者 (5件):
SON Seokki
(Div. of Materials Sci. and Engineering, Hanyang Univ., Seoul 133-791, KOR)
,
YU Sunmoon
(Dep. of Materials Sci. and Engineering, Korea Advanced Inst. of Sci. and Technol., Daejeon 305-701, KOR)
,
CHOI Moonseok
(Div. of Materials Sci. and Engineering, Hanyang Univ., Seoul 133-791, KOR)
,
KIM Dohyung
(Div. of Materials Sci. and Engineering, Hanyang Univ., Seoul 133-791, KOR)
,
CHOI Changhwan
(Div. of Materials Sci. and Engineering, Hanyang Univ., Seoul 133-791, KOR)
資料名:
Applied Physics Letters
(Applied Physics Letters)
巻:
106
号:
2
ページ:
021601-021601-4
発行年:
2015年01月12日
JST資料番号:
H0613A
ISSN:
0003-6951
CODEN:
APPLAB
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)