文献
J-GLOBAL ID:201502265338564247
整理番号:15A0727655
SiおよびSi3N4基板上へのマグネトロンスパッタPt/CeO2薄膜の成長,キャラクタリゼーションおよび界面反応
Growth, characterization and interfacial reaction of magnetron sputtered Pt/CeO2 thin films on Si and Si3N4 substrates
著者 (2件):
ANANDAN Chinnasamy
(Surface Engineering Div., CSIR - National Aerospace Laboratories, Bangalore, 560017, IND)
,
BERA Parthasarathi
(Surface Engineering Div., CSIR - National Aerospace Laboratories, Bangalore, 560017, IND)
資料名:
Surface and Interface Analysis
(Surface and Interface Analysis)
巻:
47
号:
7
ページ:
777-784
発行年:
2015年07月
JST資料番号:
E0709A
ISSN:
0142-2421
CODEN:
SIANDQ
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)