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文献
J-GLOBAL ID：201502269883646353
整理番号：15A0506148
X-線光電子分光法による非晶質InGaZnO/シロキサン不動態化薄膜の界面における酸素空孔の解析
Analysis of Oxygen vacancies in the Interface of amorphous InGaZnO / Siloxane passivation film by X-ray photoelectron spectroscopy
KULCHAISIT Chaiyanan
(Nara Inst. of Sci. and Technol.)
,
YAMAZAKI Haruka
(Nara Inst. of Sci. and Technol.)
,
BERMUNDO Juan Paolo
(Nara Inst. of Sci. and Technol.)
,
FUJII Mami
(Nara Inst. of Sci. and Technol.)
,
HORITA Masahiro
(Nara Inst. of Sci. and Technol.)
,
ISHIKAWA Yasuaki
(Nara Inst. of Sci. and Technol.)
,
URAOKA Yukiharu
(Nara Inst. of Sci. and Technol.)
資料名：
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 62nd ページ： ROMBUNNO.11P-D1-16 発行年： 2015年02月26日
JST資料番号： Y0054B ISSN： 2436-7613 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 英語 (EN)
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