文献
J-GLOBAL ID:201502272421915597
整理番号:15A0744572
荷電ビーム用多段四極子補正レンズの高精度アライメント技術
High-Precision Alignment Technology for Multistage Quadrupole Correction-lens System
著者 (1件):
岡山重夫
(独立行政法人産業技術総合研究所ナノエレクトロニクス研究部門)
資料名:
精密工学会誌(Web)
(Journal of the Japan Society for Precision Engineering (Web))
巻:
81
号:
2
ページ:
193-196 (J-STAGE)
発行年:
2015年
JST資料番号:
U0462A
ISSN:
1882-675X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)