文献
J-GLOBAL ID:201502273164638087
整理番号:15A0533035
自己相関型周波数領域低コヒーレンス干渉計による半導体基板温度測定の堅固な特性
Robust characteristics of semiconductor-substrate temperature measurement by autocorrelation-type frequency-domain low-coherence interferometry
著者 (8件):
TSUTSUMI Takayoshi
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
OHTA Takayuki
(Meijo Univ., Nagoya, JPN)
,
ISHIKAWA Kenji
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
TAKEDA Keigo
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
KONDO Hiroki
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
SEKINE Makoto
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
HORI Masaru
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
ITO Masafumi
(Meijo Univ., Nagoya, JPN)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻:
54
号:
1S
ページ:
01AB03.1-01AB03.5
発行年:
2015年01月
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
CODEN:
JJAPB6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)