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文献
J-GLOBAL ID：201502273164638087
整理番号：15A0533035
自己相関型周波数領域低コヒーレンス干渉計による半導体基板温度測定の堅固な特性
Robust characteristics of semiconductor-substrate temperature measurement by autocorrelation-type frequency-domain low-coherence interferometry
TSUTSUMI Takayoshi
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
OHTA Takayuki
(Meijo Univ., Nagoya, JPN)
,
ISHIKAWA Kenji
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
TAKEDA Keigo
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
KONDO Hiroki
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
SEKINE Makoto
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
HORI Masaru
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
ITO Masafumi
(Meijo Univ., Nagoya, JPN)
資料名：
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 54 号： 1S ページ： 01AB03.1-01AB03.5 発行年： 2015年01月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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