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文献
J-GLOBAL ID：201502275365081563
整理番号：15A0598437
直流マグネトロンスパッタ法で堆積したガリウムドープ酸化亜鉛膜の構造,電気および光学特性に及ぼすインジウム添加および熱処理の影響
Influence of addition of indium and of post-annealing on structural, electrical and optical properties of gallium-doped zinc oxide thin films deposited by direct-current magnetron sputtering
PHAM Duy Phong
(Lab. of Advanced Materials, Univ. of Sci., Vietnam National Univ., HoChiMinh, Viet Nam)
,
PHAM Duy Phong
(Coll. of Information and Communication Engineering, Sungkyunkwan Univ., Suwon 440-746, KOR)
,
NGUYEN Huu Truong
(Lab. of Advanced Materials, Univ. of Sci., Vietnam National Univ., HoChiMinh, Viet Nam)
,
PHAN Bach Thang
(Lab. of Advanced Materials, Univ. of Sci., Vietnam National Univ., HoChiMinh, Viet Nam)
,
PHAN Bach Thang
(Fac. of Materials Sci., Univ. of Sci., Vietnam National Univ., HoChiMinh, Viet Nam)
,
HOANG Van Dung
(Lab. of Advanced Materials, Univ. of Sci., Vietnam National Univ., HoChiMinh, Viet Nam)
,
MAENOSONO Shinya
(School of Materials Sci., Japan Advanced Inst. of Sci. and Technol., 1-1 Asahidai, Nomi, Ishikawa 923-1292, JPN)
,
TRAN Cao Vinh
(Lab. of Advanced Materials, Univ. of Sci., Vietnam National Univ., HoChiMinh, Viet Nam)
資料名：
Thin Solid Films
(Thin Solid Films)
巻： 583 ページ： 201-204 発行年： 2015年05月29日
JST資料番号： B0899A ISSN： 0040-6090 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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