文献
J-GLOBAL ID:201502275875245455
整理番号:15A0305356
赤外分光エリプソメトリを使用するリン注入ゲルマニウムのキャリアー濃度分布プロービング
Probing the carrier concentration profiles in phosphorus-implanted germanium using infrared spectroscopic ellipsometry
著者 (2件):
D’COSTA Vijay Richard
(Dep. of Electrical and Computer Engineering, National Univ. of Singapore, Singapore 117583)
,
YEO Yee-chia
(Dep. of Electrical and Computer Engineering, National Univ. of Singapore, Singapore 117583)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
117
号:
7
ページ:
073103-073103-4
発行年:
2015年02月21日
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)