文献
J-GLOBAL ID:201502276094048375
整理番号:15A0654397
高調波と低調波パルスモード応答のフィードスルーディエンベディングによるMEMS共振器の特性評価
Characterization of MEMS resonators via feedthrough de-embedding of harmonic and subharmonic pulsed-mode response
著者 (6件):
BRENES A.
(THALES Avionics SAS, 25 rue Jules Vedrines, 26000 Valence, FRA)
,
BRENES A.
(SSE, Ecole Superieure d’Electricite, 3, rue Joliot-Curie, 91192 Gif-sur-Yvette, FRA)
,
BRENES A.
(THALES Chair, Ecole Superieure d’Electricite, 3, rue Joliot-Curie, 91192 Gif-sur-Yvette, FRA)
,
JUILLARD J.
(SSE, Ecole Superieure d’Electricite, 3, rue Joliot-Curie, 91192 Gif-sur-Yvette, FRA)
,
VINCI Dos Santos F.
(THALES Chair, Ecole Superieure d’Electricite, 3, rue Joliot-Curie, 91192 Gif-sur-Yvette, FRA)
,
BONNOIT A.
(SSE, Ecole Superieure d’Electricite, 3, rue Joliot-Curie, 91192 Gif-sur-Yvette, FRA)
資料名:
Sensors and Actuators. A. Physical
(Sensors and Actuators. A. Physical)
巻:
229
ページ:
211-217
発行年:
2015年06月15日
JST資料番号:
B0345C
ISSN:
0924-4247
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)