文献
J-GLOBAL ID:201502276408727000
整理番号:15A0660485
高速で正確なセル位置制御のための流体分離離体積流コンバータ(FSVFC)
FLUID SEPARATED VOLUMETRIC FLOW CONVERTER (FSVFC) FOR HIGH SPEED AND PRECISE CELL POSITION CONTROL
著者 (4件):
MONZAWA Takumi
(Osaka Univ., Suita, JPN)
,
SAKUMA Shinya
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
ARAI Fumihito
(Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
,
KANEKO Makoto
(Osaka Univ., Suita, JPN)
資料名:
Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems
(Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻:
28th Vol.2
ページ:
1055-1058
発行年:
2015年
JST資料番号:
W0377A
ISSN:
1084-6999
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)