文献
J-GLOBAL ID:201502276560119954
整理番号:15A0343804
エピタキシャルPb(Zr,Ti)O3薄膜を用いた圧電マイクロマシニング超音波変換器の振動解析および評価
Vibration Analysis and Evaluation of Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers Using Epitaxial Pb(Zr,Ti)O3 Thin Film
著者 (6件):
TAKASHIMA Daisuke
(Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN)
,
OZAKI Katsuya
(Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN)
,
NISHIMURA Masato
(Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN)
,
OKADA Nagaya
(Honda Electronics Co., Ltd., Aichi, JPN)
,
AKAI Daisuke
(Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN)
,
ISHIDA Makoto
(Toyohashi Univ. Technol., Aichi, JPN)
資料名:
Sensors and Materials
(Sensors and Materials)
巻:
27
号:
1
ページ:
1-10
発行年:
2015年
JST資料番号:
L0338A
ISSN:
0914-4935
CODEN:
SENMER
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
英語 (EN)