文献
J-GLOBAL ID:201502277324966715
整理番号:15A0725643
低温合成六方晶ダイヤモンド薄膜の特性評価
Characterization of low temperature synthesized hexagonal diamond thin films
著者 (4件):
KANG Kyungnam
(Stevens Inst. of Technol., Dep. of Mechanical Engineering, 07030, Hoboken, NJ, USA)
,
KIM Jeonghwan
(Louisiana State Univ., Div. of Electrical and Computer Engineering, 70803, Baton Rouge, LA, USA)
,
JIN Yoonyoung
(Southern Univ., Next Generation Composite CREST Center, 70813, Baton Rouge, LA, USA)
,
AJMERA Pratul K.
(Louisiana State Univ., Div. of Electrical and Computer Engineering, 70803, Baton Rouge, LA, USA)
資料名:
Microsystem Technologies
(Microsystem Technologies)
巻:
21
号:
7
ページ:
1395-1400
発行年:
2015年07月
JST資料番号:
W2056A
ISSN:
0946-7076
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
ドイツ (DEU)
言語:
英語 (EN)