文献
J-GLOBAL ID:201502278240577175
整理番号:15A0461394
電子グレードSiCの化学蒸着のための臭素化化学
Brominated Chemistry for Chemical Vapor Deposition of Electronic Grade SiC
著者 (10件):
YAZDANFAR Milan
(Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE)
,
DANIELSSON OErjan
(Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE)
,
KALERED Emil
(Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE)
,
SUKKAEW Pitsiri
(Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE)
,
KORDINA Olle
(Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE)
,
NILSSON Daniel
(Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE)
,
IVANOV Ivan G.
(Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE)
,
OJAMAEE Lars
(Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE)
,
JANZEN Erik
(Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE)
,
PEDERSEN Henrik
(Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE)
資料名:
Chemistry of Materials
(Chemistry of Materials)
巻:
27
号:
3
ページ:
793-801
発行年:
2015年02月10日
JST資料番号:
T0893A
ISSN:
0897-4756
CODEN:
CMATEX
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)