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文献
J-GLOBAL ID：201502278240577175
整理番号：15A0461394
電子グレードSiCの化学蒸着のための臭素化化学
Brominated Chemistry for Chemical Vapor Deposition of Electronic Grade SiC
YAZDANFAR Milan
(Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE)
,
DANIELSSON OErjan
(Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE)
,
KALERED Emil
(Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE)
,
SUKKAEW Pitsiri
(Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE)
,
KORDINA Olle
(Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE)
,
NILSSON Daniel
(Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE)
,
IVANOV Ivan G.
(Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE)
,
OJAMAEE Lars
(Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE)
,
JANZEN Erik
(Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE)
,
PEDERSEN Henrik
(Linkoeping Univ., Linkoeping, SWE)
資料名：
Chemistry of Materials
(Chemistry of Materials)
巻： 27 号： 3 ページ： 793-801 発行年： 2015年02月10日
JST資料番号： T0893A ISSN： 0897-4756 CODEN： CMATEX 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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