文献
J-GLOBAL ID:201502279712320307
整理番号:15A0507863
SiC MOSキャパシタのTZDB測定時動画撮影による絨毯爆撃状破壊痕形成メカニズムの解明
著者 (8件):
佐藤創志
(東北大 国際集積エレクトロニクス研究開発セ)
,
廣井佑紀
(筑波大 大学院)
,
山部紀久夫
(筑波大 大学院)
,
北畠真
(次世代パワーエレクトロニクス研究開発機構 新材料パワー半導体研究開発セ)
,
遠藤哲郎
(東北大 国際集積エレクトロニクス研究開発セ)
,
遠藤哲郎
(東北大 省エネルギー・スピントロニクス集積化システムセ)
,
遠藤哲郎
(東北大 大学院工学研究科)
,
丹羽正昭
(東北大 国際集積エレクトロニクス研究開発セ)
資料名:
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)
(Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻:
62nd
ページ:
ROMBUNNO.13A-A24-6
発行年:
2015年02月26日
JST資料番号:
Y0054B
ISSN:
2436-7613
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)