文献
J-GLOBAL ID:201502279836788633
整理番号:15A0602705
AlとGa同時スパッタリングZnO薄膜の特性に及ぼすスパッタリングパワーの影響
Impact of sputtering power on the properties of Al and Ga co-sputtered ZnO thin films
著者 (3件):
GUPTA Chandan Ashis
(KIIT Univ., School of Applied Sciences, Campus-3, Patia, 751024, Bhubaneswar, Odisha, IND)
,
MANGAL Sutanu
(KIIT Univ., School of Applied Sciences, Campus-3, Patia, 751024, Bhubaneswar, Odisha, IND)
,
SINGH Udai P.
(KIIT Univ., School of Electronics Engineering, Campus-3, Patia, 751024, Bhubaneswar, Odisha, IND)
資料名:
Journal of Materials Science. Materials in Electronics
(Journal of Materials Science. Materials in Electronics)
巻:
26
号:
6
ページ:
4280-4284
発行年:
2015年06月
JST資料番号:
W0003A
ISSN:
0957-4522
CODEN:
JMTSAS
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)