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文献
J-GLOBAL ID：201502280170637552
整理番号：15A0454634
ScxAl1-xN(0001)薄膜のナノプローブ機械・圧電特性評価
Nanoprobe mechanical and piezoelectric characterization of ScxAl1-xN(0001) thin films
ZUKAUSKAITE Agne
(Dep. of Physics, Chemistry, and Biology (IFM), Thin Film Physics Div., Linkoeping Univ., 581 83, Linkoeping, SWE)
,
BROITMAN Esteban
,
SANDSTROEM Per
,
HULTMAN Lars
,
BIRCH Jens
資料名：
Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science
(Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science)
巻： 212 号： 3 ページ： 666-673 発行年： 2015年03月
JST資料番号： D0774A ISSN： 1862-6300 CODEN： PSSABA 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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