文献
J-GLOBAL ID:201502280170637552
整理番号:15A0454634
ScxAl1-xN(0001)薄膜のナノプローブ機械・圧電特性評価
Nanoprobe mechanical and piezoelectric characterization of ScxAl1-xN(0001) thin films
著者 (5件):
ZUKAUSKAITE Agne
(Dep. of Physics, Chemistry, and Biology (IFM), Thin Film Physics Div., Linkoeping Univ., 581 83, Linkoeping, SWE)
,
BROITMAN Esteban
,
SANDSTROEM Per
,
HULTMAN Lars
,
BIRCH Jens
資料名:
Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science
(Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science)
巻:
212
号:
3
ページ:
666-673
発行年:
2015年03月
JST資料番号:
D0774A
ISSN:
1862-6300
CODEN:
PSSABA
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
ドイツ (DEU)
言語:
英語 (EN)